提供专业全球性半导体 自动化解决方案的企业

收集设备数据

半导体和LCD等Flat Panel Display设备拥有很多数据. 只有让Event, Status Variable, Alarm等信息跟各个Lot Tracking信息进行联动起来并收集才能使数据成为有效数据.

Overlay Control

Photo工艺在半导体微细化和提高收益率上是非常核心的工艺. 英菲格兰能制作通过对Scanning测量数据中的Overlay Parameter进行分析,为生产下个Wafer 计算出最佳的 Control Parameter，并把最佳的Parameter提供给 Photo Scanner设备的R2R系统相关所有解决方案.

设备效率

可以对Wafer单位的形成的 Tracking信息和测量信息通过Tool to Tool Matching 发现Key factor,，对每秒发生10件以上Health数据Pattern进行分析等作业.因此通过MES管理而遇到的设备生产性,可用性,信赖性瓶颈的问题,通过英菲格兰的解决方案能够有效解决并达到更高水准.