提供专业全球性半导体自动化解决方案的企业

Semiconductor & FPD Automation Solution will be better than today.

Real-time data
Process control

Our Services

可以跟英菲格兰合作什么样的事呢？

收集设备数据

半导体和LCD等Flat Panel Display设备拥有很多数据. 只有让Event, Status Variable, Alarm等信息跟各个Lot Tracking信息进行联动起来并收集才能使数据成为有效数据.

OVERLAY CONTROL

Photo工艺在半导体微细化和提高收益率上是非常核心的工艺. 英菲格兰能制作通过对Scanning测量数据中的Overlay Parameter进行分析,为生产下个Wafer 计算出最佳的 Control Parameter, 并把最佳的Parameter提供给 Photo Scanner设备的R2R系统相关所有解决方案.

设备效率

可以对Wafer单位的形成的 Tracking信息和测量信息通过Tool to Tool Matching 发现Key factor, 对每秒发生10件以上Health数据Pattern进行分析等作业.因此通过MES管理而遇到的设备生产性,可用性,信赖性瓶颈的问题,通过英菲格兰的解决方案能够有效解决并达到更高水准.